陽極接合装置
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開始行:
* 陽極接合装置 [#oce9815c]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./陽極接合装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./陽極接合装置簡易マニュアル.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- シリコンーガラスを接着剤なしで接合
- 〜500℃、-1500V
- アライメント機構付き
- >3インチでそのままアライメント可
#calendar9
終了行:
* 陽極接合装置 [#oce9815c]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./陽極接合装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./陽極接合装置簡易マニュアル.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- シリコンーガラスを接着剤なしで接合
- 〜500℃、-1500V
- アライメント機構付き
- >3インチでそのままアライメント可
#calendar9
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