表面段差計測装置
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開始行:
* 表面段差計測装置 [#n489f1f5]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./表面段差計測装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./表面段差計(20100316).pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 触針式段差計(KLA Tencor P-6)
- 試料サイズ最大6インチ
- 走査最大距離60mm
- 針圧設定0.5-50mg
- 再現性0.6nm(1δ)@±6.5µm
- レジスト、酸化膜、金属膜などの各種薄膜段差計測用
#calendar9
終了行:
* 表面段差計測装置 [#n489f1f5]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./表面段差計測装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./表面段差計(20100316).pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 触針式段差計(KLA Tencor P-6)
- 試料サイズ最大6インチ
- 走査最大距離60mm
- 針圧設定0.5-50mg
- 再現性0.6nm(1δ)@±6.5µm
- レジスト、酸化膜、金属膜などの各種薄膜段差計測用
#calendar9
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