汎用ICP-RIE装置
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開始行:
* 汎用ICP-RIE装置 [#aeb6e834]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./汎用ICP-RIE装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./インキュ:ICP-RIE簡易マニュアル2014(井上).pdf);
** 概要 [#s212667c]
- Samco製 RIE-101iPH 汎用ドライエッチング装置
- 4インチ処理
- ダミーウエハへの貼り付けで異形ウエハもOK(基板He冷却)
- シリコン、酸化膜、メタル、PZT等対象(ロードロック付き...
- Ar、O2、CF4/CH4/CHF3、BCl3、Cl2
- アンテナ1kW、プラテン500W
*** その他情報 [#i317caf2]
-Ar、Cl2、BCl3の設定可能なガス流量範囲
-- Ar:0-200sccm
-- Cl2:0-100sccm
-- BCl3:0-50sccm
-- (0はバルブ閉、マスフローの制御可能範囲は最大流量の...
-圧力の設定可能範囲
-- 最大13.33MPa
-基板温度の設定可能範囲
-- 加熱機構なし
-Antenna Power/Bias Powerの設定可能範囲
-- アンテナ/バイアス=1000/300W
-基板支持方法
-- 静電チャック(ジョンソン-ラーベック方式)
-- 絶縁物は裏面にメタル成膜するとチャックすると予想、...
-オリフラや厚み等の基板の制限
-- 3t程度は問題なく搬入可能
-処理時間の制限
-- 制限は特になし
-- 運用ルールとして、現在は基本的にその日の最後に1hrのク...
#calendar9
終了行:
* 汎用ICP-RIE装置 [#aeb6e834]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./汎用ICP-RIE装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./インキュ:ICP-RIE簡易マニュアル2014(井上).pdf);
** 概要 [#s212667c]
- Samco製 RIE-101iPH 汎用ドライエッチング装置
- 4インチ処理
- ダミーウエハへの貼り付けで異形ウエハもOK(基板He冷却)
- シリコン、酸化膜、メタル、PZT等対象(ロードロック付き...
- Ar、O2、CF4/CH4/CHF3、BCl3、Cl2
- アンテナ1kW、プラテン500W
*** その他情報 [#i317caf2]
-Ar、Cl2、BCl3の設定可能なガス流量範囲
-- Ar:0-200sccm
-- Cl2:0-100sccm
-- BCl3:0-50sccm
-- (0はバルブ閉、マスフローの制御可能範囲は最大流量の...
-圧力の設定可能範囲
-- 最大13.33MPa
-基板温度の設定可能範囲
-- 加熱機構なし
-Antenna Power/Bias Powerの設定可能範囲
-- アンテナ/バイアス=1000/300W
-基板支持方法
-- 静電チャック(ジョンソン-ラーベック方式)
-- 絶縁物は裏面にメタル成膜するとチャックすると予想、...
-オリフラや厚み等の基板の制限
-- 3t程度は問題なく搬入可能
-処理時間の制限
-- 制限は特になし
-- 運用ルールとして、現在は基本的にその日の最後に1hrのク...
#calendar9
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