白色干渉計
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開始行:
* 白色干渉計 [#u117a822]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./白色干渉計.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./オープン実験棟:表面形状測定器(Zygo).pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 白色光の干渉による表面プロファイラ
- 最大凹凸計測範囲145µm
- 公称0.01nmの再現性
- 10xのミラウ対物レンズ、1xの長焦点(40mm)マイケルソン...
- 電動ステージによる広領域画像の自動つなぎ合わせ
- 薄いガラス越しの計測も可能
#calendar9
終了行:
* 白色干渉計 [#u117a822]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./白色干渉計.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./オープン実験棟:表面形状測定器(Zygo).pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 白色光の干渉による表面プロファイラ
- 最大凹凸計測範囲145µm
- 公称0.01nmの再現性
- 10xのミラウ対物レンズ、1xの長焦点(40mm)マイケルソン...
- 電動ステージによる広領域画像の自動つなぎ合わせ
- 薄いガラス越しの計測も可能
#calendar9
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