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開始行:
*MPW2021参加者募集 [#na313d53]
**MPWについて [#tef5e28c]
MPWとはMulti-Project-Waferの略で、複数のプロジェクトの...
&ref(./PMEMS13.PNG,60%);~
研究室内で実施したPZT-MEMSのMPW例~
~
**サービスのプロセス概要 [#ua706cc4]
-MPB組成(Zr:Ti=52:48)のPZT3 um厚と上下電極を活性層/酸化膜...
-上部電極・PZT・下部電極をパターニング
-絶縁層形成とパターニング
-配線層成膜とパターニング
-活性層と中間酸化膜パターニング
-支持層エッチング
-以上7枚のフォトマスクのプロセス
**参加方法 [#ue0a512d]
MPWに参加するには、デザインハンドブック最終ページの申込...
***秘密保持および重要事項 [#l9238bf4]
-試作したダイの性能保証等は一切いたしましせん。基本的には...
-試作に際して得られた設計データおよびフォトマスク、試作に...
-参加の有無、設計データ、フォトマスク、類推される用途など...
-総申込口数については公表いたします。※総申込口数に応じて...
-試作プロセスによって得られた試作ノウハウについては公開す...
-また、その他秘密保持についての誓約書または契約が必要な場...
-試作・供給されたダイに関しては、商用を含め供給後の扱いに...
-本プロジェクトにおいて供給するのはベアのチップとなります...
~
**費用について [#p97ae05a]
-今回に限り過去のMPW参加者は無料,新規の参加者には1口10ダ...
-供給ダイ数は申込数に依存します。ただし、一口あたり最小10...
~
**データの提出について [#pf6990d5]
- 応募締切:令和3年8月31日
- 設計データ提出締切:令和3年9月30日
- ダイ提供予定:令和3年11月30日
- 設計データについては、StreamやGDS、DXF等のCADデータを電...
- 申込書はデザインハンドブックの最終頁にありますので、押...
- 提出に際しては神田(kanda[アットマーク]eng.u-hyogo.ac.jp...
**設計の詳細について [#f8fa8e45]
以下のデザインハンドブックをご参照くださいますようお願...
&ref(./MPW_HB3.0.pdf);
**問い合わせ [#cc74a33f]
兵庫県立大学大学院工学研究科電子情報工学専攻 准教授 神...
TEL:079-267-4870
E-mail:kanda[アットマーク]eng.u-hyogo.ac.jp
終了行:
*MPW2021参加者募集 [#na313d53]
**MPWについて [#tef5e28c]
MPWとはMulti-Project-Waferの略で、複数のプロジェクトの...
&ref(./PMEMS13.PNG,60%);~
研究室内で実施したPZT-MEMSのMPW例~
~
**サービスのプロセス概要 [#ua706cc4]
-MPB組成(Zr:Ti=52:48)のPZT3 um厚と上下電極を活性層/酸化膜...
-上部電極・PZT・下部電極をパターニング
-絶縁層形成とパターニング
-配線層成膜とパターニング
-活性層と中間酸化膜パターニング
-支持層エッチング
-以上7枚のフォトマスクのプロセス
**参加方法 [#ue0a512d]
MPWに参加するには、デザインハンドブック最終ページの申込...
***秘密保持および重要事項 [#l9238bf4]
-試作したダイの性能保証等は一切いたしましせん。基本的には...
-試作に際して得られた設計データおよびフォトマスク、試作に...
-参加の有無、設計データ、フォトマスク、類推される用途など...
-総申込口数については公表いたします。※総申込口数に応じて...
-試作プロセスによって得られた試作ノウハウについては公開す...
-また、その他秘密保持についての誓約書または契約が必要な場...
-試作・供給されたダイに関しては、商用を含め供給後の扱いに...
-本プロジェクトにおいて供給するのはベアのチップとなります...
~
**費用について [#p97ae05a]
-今回に限り過去のMPW参加者は無料,新規の参加者には1口10ダ...
-供給ダイ数は申込数に依存します。ただし、一口あたり最小10...
~
**データの提出について [#pf6990d5]
- 応募締切:令和3年8月31日
- 設計データ提出締切:令和3年9月30日
- ダイ提供予定:令和3年11月30日
- 設計データについては、StreamやGDS、DXF等のCADデータを電...
- 申込書はデザインハンドブックの最終頁にありますので、押...
- 提出に際しては神田(kanda[アットマーク]eng.u-hyogo.ac.jp...
**設計の詳細について [#f8fa8e45]
以下のデザインハンドブックをご参照くださいますようお願...
&ref(./MPW_HB3.0.pdf);
**問い合わせ [#cc74a33f]
兵庫県立大学大学院工学研究科電子情報工学専攻 准教授 神...
TEL:079-267-4870
E-mail:kanda[アットマーク]eng.u-hyogo.ac.jp
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