走査電子顕微鏡
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開始行:
* 走査電子顕微鏡 [#db4f2460]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./走査電子顕微鏡.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./オープン実験棟:JEOL-SEM簡易マニュアル2014(井上)...
** 概要 [#s212667c]
- LaB6を用いた簡易型のSEM(JEOL JED-­2300)
- EDS分析装置付属
- 4インチウエハ導入可能
- 加速電圧0.5-30keV
- 分解能3nm(30keV)
- 低真空動作可
- ステージ移動量80x40mm
- カーボンコータ、イオンビームクロスセクションポリッシャ...
#calendar9
終了行:
* 走査電子顕微鏡 [#db4f2460]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./走査電子顕微鏡.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./オープン実験棟:JEOL-SEM簡易マニュアル2014(井上)...
** 概要 [#s212667c]
- LaB6を用いた簡易型のSEM(JEOL JED-­2300)
- EDS分析装置付属
- 4インチウエハ導入可能
- 加速電圧0.5-30keV
- 分解能3nm(30keV)
- 低真空動作可
- ステージ移動量80x40mm
- カーボンコータ、イオンビームクロスセクションポリッシャ...
#calendar9
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