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* &color(Red){2018年11月初旬から約1ヶ月、研究室の新棟へ...
* 装置一覧 [#hd808eb6]
*** カテゴリについて [#r0c4e62a]
各装置には、A、B、Cのカテゴリ分けをしております。
- A : 複雑高度な装置で、このカテゴリのみ使用料が異な...
- B : 一般的な装置です
- C : 使用が難しい、メーカーのメインテナンスが切れて...
簡易取扱説明書は研究室の学生がもっぱら自分たち用に作った...
** 設計 [#f9a3d43a]
#table_edit2(edit=on,table_mod=off,td_edit=off,form=text|...
|ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー|カテゴリ|...
|[[ANSYS]]|C|B5F|&color(red){準備中};|稼働||
|[[α-SX,Asm2600等]]|C|B5F|&color(red){準備中};|稼働||
|[[VDEC貸し出しツール]]|C|B5F|&color(red){準備中};|稼働||
}}
** パターン形成 [#y8a47bf0]
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|ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー|カテゴリ|...
|[[パターンジェネレータ]]|C|B5FCR|&ref(パターンジェネレー...
|[[電子ビーム描画装置]]|A|Incu4F|&ref(電子ビーム描画装置/...
|[[マスクアライナ]]|B|Incu4F|&ref(マスクアライナ/インキュ...
|[[両面マスクアライナ]]|B|B5FCR|&ref(両面マスクアライナ/C...
|%%[[両面マスクアライナその2]]%%|%%B%%|%%Open2F%%|%%&col...
|%%[[自作スプレーコータ]]%%|C|Open2F|&ref(自作スプレーコ...
|[[ナノインクジェット装置]]|C|Open2F|&ref(ナノインクジェ...
}}
** 薄膜形成 [#cb071a1f]
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|ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー|カテゴリ|...
|[[酸化/拡散炉]]|C|Incu4F|&ref(酸化/拡散炉/インキュ酸化...
|[[高速熱処理装置(RTP)]]|C|B5F|&ref(高速熱処理装置(RTP...
|[[EB蒸着装置]]|C|B5F|&ref(EB蒸着装置/CR1 EB(TMP).pdf);|...
|[[2源スパッタ装置]]|C|B5F|&ref(2源スパッタ装置/スパッ...
|[[5源スパッタ装置]]|B|Incu4F|&ref(5源スパッタ装置/エイ...
|[[PZTスパッタ装置]]|S|Incu4F|&ref(PZTスパッタ装置/インキ...
|%%[[LP-CVD装置]](SiO2、SiN)%%|C|%%B5FCR%%|%%&ref(LP-CV...
|[[TEOS-LP-CVD装置]](SiO2)|C|Open2F|&ref(TEOS-LP-CVD装...
}}
** エッチング [#q0575c28]
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|ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー|カテゴリ|...
|[[Deep-RIE装置]](Siのみ)|S|Incu4F|&ref(Deep-RIE装置/イ...
|[[汎用ICP-RIE装置]](メタルもOK)|A|Incu4F|&ref(汎用ICP-...
|[[XeF2シリコンドライエッチング装置]]|B|Incu4F|&ref(XeF2...
|[[アッシャ]]|B|Incu4F||稼働||
}}
** アセンブリ [#v0e2c0a3]
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|ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー|カテゴリ|...
|[[ダイシングマシン]]|B|B5FCR|&ref(ダイシングマシン/ダイ...
|[[陽極接合装置]]|B|B5FCR|&ref(陽極接合装置/陽極接合装置...
|[[ウエハ/チップ接合装置]]|B|Incu4F|&ref(ウエハ/チップ...
|[[フリップチップボンダー]]|B|Open2F|&ref(フリップチップ...
|[[精密研磨装置]]|B|Incu4F|&ref(精密研磨装置/ERATO研磨装...
|[[超音波ボンダ装置]]|B|B5F|&ref(超音波ボンダ装置/超音波...
|[[着磁装置]]|B|Open1F|&color(Red){準備中};|稼働||
}}
** 評価 [#h4799ecf]
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|ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー|カテゴリ|...
|[[走査電子顕微鏡]]|B|Open1F|&ref(走査電子顕微鏡/オープン...
|[[電界放射型走査電子顕微鏡]]|B|Open1F|&ref(電界放射型走...
|[[原子間力顕微鏡]]|B|B5F|&ref(原子間力顕微鏡/AFM取説.pdf...
|[[表面段差計測装置]]|B|Incu4F|&ref(表面段差計測装置/表面...
|[[共焦点顕微鏡]]|B|Incu4F|&ref(共焦点顕微鏡/コンフォーカ...
|[[白色干渉計]]|B|Open1F|&ref(白色干渉計/オープン実験棟:...
|[[レーザドップラ速度計]]|B|B5F|&ref(レーザドップラ速度計...
|赤外イメージャ、プローバ、各種電気的評価設備など|B|B5F|...
}}
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* &color(Red){2018年11月初旬から約1ヶ月、研究室の新棟へ...
* 装置一覧 [#hd808eb6]
*** カテゴリについて [#r0c4e62a]
各装置には、A、B、Cのカテゴリ分けをしております。
- A : 複雑高度な装置で、このカテゴリのみ使用料が異な...
- B : 一般的な装置です
- C : 使用が難しい、メーカーのメインテナンスが切れて...
簡易取扱説明書は研究室の学生がもっぱら自分たち用に作った...
** 設計 [#f9a3d43a]
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|ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー|カテゴリ|...
|[[ANSYS]]|C|B5F|&color(red){準備中};|稼働||
|[[α-SX,Asm2600等]]|C|B5F|&color(red){準備中};|稼働||
|[[VDEC貸し出しツール]]|C|B5F|&color(red){準備中};|稼働||
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** パターン形成 [#y8a47bf0]
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|ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー|カテゴリ|...
|[[パターンジェネレータ]]|C|B5FCR|&ref(パターンジェネレー...
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|[[マスクアライナ]]|B|Incu4F|&ref(マスクアライナ/インキュ...
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** 薄膜形成 [#cb071a1f]
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|ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー|カテゴリ|...
|[[酸化/拡散炉]]|C|Incu4F|&ref(酸化/拡散炉/インキュ酸化...
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** エッチング [#q0575c28]
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|[[アッシャ]]|B|Incu4F||稼働||
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** アセンブリ [#v0e2c0a3]
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** 評価 [#h4799ecf]
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|[[走査電子顕微鏡]]|B|Open1F|&ref(走査電子顕微鏡/オープン...
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|[[原子間力顕微鏡]]|B|B5F|&ref(原子間力顕微鏡/AFM取説.pdf...
|[[表面段差計測装置]]|B|Incu4F|&ref(表面段差計測装置/表面...
|[[共焦点顕微鏡]]|B|Incu4F|&ref(共焦点顕微鏡/コンフォーカ...
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|[[レーザドップラ速度計]]|B|B5F|&ref(レーザドップラ速度計...
|赤外イメージャ、プローバ、各種電気的評価設備など|B|B5F|...
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