精密研磨装置
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開始行:
* 精密研磨装置 [#icc34541]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./精密研磨装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./ERATO研磨装置使用方法.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- プレート回転数0-70rpm
- プレート径300mm
- 4インチ標準、チップも可
- 最大1t、500℃
- ウエハ保持ジグの揺動機構、研磨量計測機構、加圧量調整機...
- 研磨ジグとウエハを平坦に貼り合わせる装置は別途設置
#calendar9
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* 精密研磨装置 [#icc34541]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./精密研磨装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./ERATO研磨装置使用方法.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- プレート回転数0-70rpm
- プレート径300mm
- 4インチ標準、チップも可
- 最大1t、500℃
- ウエハ保持ジグの揺動機構、研磨量計測機構、加圧量調整機...
- 研磨ジグとウエハを平坦に貼り合わせる装置は別途設置
#calendar9
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