酸化/拡散炉
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開始行:
* 酸化/拡散炉 [#x81868c1]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./酸化_拡散炉.png);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./インキュ酸化炉簡易マニュアル(100315).pdf);
** 概要 [#s212667c]
- コンタミ制御された酸化・拡散炉
- <1200℃、Wet、Dry酸化
- 拡散は液体拡散源を使用
- シリコンウエハ専用
- 標準4インチ
- 2段炉
#calendar9
終了行:
* 酸化/拡散炉 [#x81868c1]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./酸化_拡散炉.png);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./インキュ酸化炉簡易マニュアル(100315).pdf);
** 概要 [#s212667c]
- コンタミ制御された酸化・拡散炉
- <1200℃、Wet、Dry酸化
- 拡散は液体拡散源を使用
- シリコンウエハ専用
- 標準4インチ
- 2段炉
#calendar9
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