高速熱処理装置(RTP)
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開始行:
* 高速熱処理装置(RTP) [#v186ec48]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./高速アニール炉.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./RTA簡単マニュアル.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 赤外線アニール炉
- 標準4インチウエハ
- 最高温度1100℃(1000℃まで約1分)
- 熱電対/赤外放射で温度計測
- 窒素、アルゴン雰囲気
#calendar9
終了行:
* 高速熱処理装置(RTP) [#v186ec48]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./高速アニール炉.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./RTA簡単マニュアル.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 赤外線アニール炉
- 標準4インチウエハ
- 最高温度1100℃(1000℃まで約1分)
- 熱電対/赤外放射で温度計測
- 窒素、アルゴン雰囲気
#calendar9
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