パターンジェネレータ
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開始行:
* パターンジェネレータ [#z7dc6022]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./パターンジェネレータ.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./PG.pdf);&br;&ref(./170721_マスク製作での注意点.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- マスク作成装置(NSK TZ-220)
- 5インチCrマスク
- 描画エリア90×85mm2
- 最小線幅2µm、分解能0.1µm、角度分解能0.1°、60...
- MANN3600データに変換必要(変換ツールはD4所持)
- 使用頻度高いが、メンテ終了、PC98使用・・・
#calendar9
終了行:
* パターンジェネレータ [#z7dc6022]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./パターンジェネレータ.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./PG.pdf);&br;&ref(./170721_マスク製作での注意点.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- マスク作成装置(NSK TZ-220)
- 5インチCrマスク
- 描画エリア90×85mm2
- 最小線幅2µm、分解能0.1µm、角度分解能0.1°、60...
- MANN3600データに変換必要(変換ツールはD4所持)
- 使用頻度高いが、メンテ終了、PC98使用・・・
#calendar9
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