ウエハ/チップ接合装置
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開始行:
* ウエハ/チップ接合装置 [#ha71a185]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./ウエハ/チップ接合装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./アユミ接合装置簡易使用マニュアル_0.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 真空/大気/特定ガス雰囲気中で、加圧(最大1t)、昇温(最...
- 標準4インチウエハ、チップも可能
- 透過赤外アライメント機構付き(不純物濃度が高すぎるシリ...
- 陽極接合用(ガラスーシリコンの接合)電圧導入端子付き
#calendar9
終了行:
* ウエハ/チップ接合装置 [#ha71a185]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./ウエハ/チップ接合装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./アユミ接合装置簡易使用マニュアル_0.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 真空/大気/特定ガス雰囲気中で、加圧(最大1t)、昇温(最...
- 標準4インチウエハ、チップも可能
- 透過赤外アライメント機構付き(不純物濃度が高すぎるシリ...
- 陽極接合用(ガラスーシリコンの接合)電圧導入端子付き
#calendar9
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