2源スパッタ装置
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開始行:
* 2源スパッタ装置 [#bd87e54d]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./2源スパッタ装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./スパッタ簡易マニュアル.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 2源RFマグネトロンスパッタ JEOL JEC-SP360M
- 基板加熱可(<800℃)
- Cr、Ni、Au、Al等金属汎用
- NdFeB/Ta多層膜の実績有
- 4インチターゲット
- バックスパッタ可
- 加熱無しの場合、4インチ5枚成膜可能、2源同時スパッタ可
- 古い装置、メーカのメンテ不可
#calendar9
終了行:
* 2源スパッタ装置 [#bd87e54d]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./2源スパッタ装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./スパッタ簡易マニュアル.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 2源RFマグネトロンスパッタ JEOL JEC-SP360M
- 基板加熱可(<800℃)
- Cr、Ni、Au、Al等金属汎用
- NdFeB/Ta多層膜の実績有
- 4インチターゲット
- バックスパッタ可
- 加熱無しの場合、4インチ5枚成膜可能、2源同時スパッタ可
- 古い装置、メーカのメンテ不可
#calendar9
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