陽極接合装置 の変更点

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*　陽極接合装置 [#oce9815c]
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**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./陽極接合装置.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./陽極接合装置簡易マニュアル.pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　シリコンーガラスを接着剤なしで接合
-　〜500℃、-1500V 
-　アライメント機構付き
-　>3インチでそのままアライメント可

#calendar9