α-SX,Asm2600等 の変更点

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*　α-SX,Asm2600等 [#s137281c]
**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./パターン設計.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(red){準備中};
&color(red){準備中};
**　概要 [#s212667c]
-　パターン設計
-　マスク製造に必要
-　DXF等読み込み可、gds出力可