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*　&color(Red){コロナウイルスによるセンター活動の制限について}; [#he587d1a]
　%%キャンパス内への立ち入り禁止措置も全面禁止から許可制に変更され、ようやく通常運営に向かって変化しつつあります（最新の情報は　http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/topics/corona/　をごらん下さい）。外部の方の利用に対しましても、許可される事例も出てきております。詳細につきましては本ページからお問い合わせ頂けましたら幸いです。%%~
　&color(Red){2020年10月1日より、学外者の入構が届け出制に緩和されました。機器使用ページでご記入いただいた内容で届け出いたしますので、ご利用の方は正確な所属、使用されます方全員のお名前をご記入下さい。また、機器利用につきましてはコロナ対策につきましても十分なご注意をお願いいたします。};
　第2波の傾向も見えておりますが、皆様におかれましてはご健康により一層のご配慮をいただき、くれぐれもご自愛くださいますようお願い申し上げます。~
　一刻も早く平常活動ができるよう、心から願っております。
#freeze
*&size(24){&color(Red){2024年4月より、MEMSデバイス開発支援センターは「半導体デバイス・プロセス開発支援センター」として活動いたします};}; [#e79eb88a]
&size(18){&color(Black){より広い分野サポートをめざし、従来の「MEMSデバイス開発支援センター」を廃止し、新たに「半導体デバイス・プロセス開発支援センター」としての枠組みの中で活動します。当面はこれまで行ってきました「MEMSデバイス開発支援センター」関連の活動は、活動形態や価格など、これまでと変更のない活動となります。このため、本ホームページも大きな変更無く継続運用いたします。ページ内に「MEMSデバイス開発支援センター」の表記が残っておりますが、「半導体デバイス・プロセス開発支援センター」に読み替えて下さるようお願いします。支援そのものにつきましては、使い勝手その他、これまで同様ですので引き続きよろしくお願いいたします。};};

***　&color(Blue){サーバーを変更しました　今後、このページが正式ホームページとなります}; [#w4c2a9a5]
研究室が新しい棟に移動しました。旧2号館（D4F）に設置されていた装置はすべて新しい棟に引っ越ししました。~
&color(Fuchsia){2019年5月より、課金体系が変更されました。ご注意下さい。};[[課金について]]
***　&color(Blue){新着情報　PZT-MEMSのマルチチップサービスが公開されました。}; [#n4e63e0c]
電気学会のサポートで、PZT-MEMSのマルチチップサービス（圧電薄膜を用いたMEMSデバイス試作）、MPWを進めております。どなたでも参加できます。詳細は、[[電気学会MPWサービス]]のページをどうそ。
*　&size(20){&color(Blue){新着情報　2023年10月15日より新料金体制となります}; };[#qe6bd80f]
&size(18){&color(Red){電気料金の高騰，装置の保守維持頻度の増加にともない，2023年10月15日より使用料を値上げさせていただきました。詳しくは[[課金について]]ページをご覧ください。};};
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**　新着情報　DeepRIE引っ越し [#c09a88ee]
DeepRIEの共用利用が増えたため、設備アクセス向上と利用者分散のためB棟の共用クリーンルームへの移設を行いました。2023年12月24日現在、移動を済ませ立ち上げ中です。
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*　&size(20){&color(Blue){兵庫県立大学　MEMSデバイス開発支援センターへようこそ！};}; [#jb75ba6c]
　本センターは、学内外を問わず、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）デバイスに関連する設備やノウハウを広く利用頂くために設立されたセンターです。運営資金の一部とするため、若干の課金を提示させて頂いておりますが、営利を目的とするものではありませんので、As is、Best effort型のサービスとさせていただきます。&color(Red){センターパンフレット−＞&ref(./MEMSCV2DS.pdf);};
**　MEMSデバイス開発支援センターでできること [#tfc9acdb]
　以下のサービスを行います。
-　装置利用：利用者ご自身で装置運用をしていただきます。最初に利用されます際には、簡単な安全講習とともに、装置使用の手引きをさせていただきます。
-　依頼加工：当方のマンパワーに余裕がある場合（現在、技術員の方がおられます）、薄膜形成や、パターン形成、等々の依頼を申し受けます。加工期間、費用等に付いては別途お問い合わせ下さい。
-　サンプルの提供：NdFeB（磁石薄膜）やPZT（圧電薄膜）を堆積したサンプルウエハをアフォードセンス株式会社を介して提供する予定です。現在準備中です。
-　依頼加工：当方のマンパワーに余裕がある場合（現在、技術員がおります）、薄膜形成や、パターン形成、等々の依頼を申し受けます。加工期間、費用等に付いては別途お問い合わせ下さい。
-　サンプルの提供：NdFeB（磁石薄膜）やPZT（圧電薄膜）を堆積したサンプルウエハをアフォードセンス株式会社を介して提供します。
-　技術指導：MEMS技術について本格的に取り組みたい方に対して、産学連携スキームを通じて技術指導を行います。産学連携については、本学ホームページ（https://www.u-hyogo.ac.jp/research/center/index.html）をご参照下さい。
-　MEMS講習：基礎のMEMS技術講習を実技を含めて計画したいと思っています。
**　参加の手順（装置利用） [#u5af9f82]
　まず、[[装置一覧]]で、やりたいことに適切な設備があるかどうか、確認します。ついで、各装置名をクリックして装置個別ページに入っていただきます。装置個別ページには予約一覧と装置の簡単な説明があります。予約一覧をご覧頂き、ご希望のスケジュールを検討します。そして、[[機器使用連絡フォーム]]から、装置の使用希望をお出し下さい。状況を確認し、こちらからメイルによりお返事させていただきます。また、ご質問等がございましたら[[お問い合わせフォーム]]から、ご遠慮なくご質問下さい。
**　費用 [#sf4646f3]
-　[[課金について]]をご参照下さい（暫定ルールです）。
-　[[課金について]]をご参照下さい。
-　学外の方の利用はアフォードセンス株式会社（http://www.affordsens.com/）が伝票処理（請求書発行など）を行いますが、手数料が必要となります。
**　企業の方へお願い [#u031e495]
-　本センターの運営趣旨にご賛同いただけましたら、[[賛助会員]]となっていただける企業の方を募集いたします。
-　積極的にMEMSデバイスにチャレンジしたいとお考えの場合、長期にわたる自由な利用を可能にするため、共同研究等の仕組みでセンターと協同することも可能です。ご興味がございましたら下記お問い合わせ先までご連絡下さい。
**　お問い合わせ先 [#h0a74660]
　協同研究のお申し出などは、前中(Mail:&ref(./MyMail.jpg,60%);)までご連絡下さい。
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