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*　重要なお知らせ [#ceb478fe]
&color(Red){''電気料金の高騰，装置の保守維持頻度の増加にともない，2023年10月15日より使用料を値上げさせていただきました。''};~
上記課金は今後改正することがありますので、ご利用に当たりましては都度ご確認をお願いします。
*　課金について [#bb9a66ef]
-センター使用にあたり、運営費用の一部をご負担いただくためシンプルな形態で課金させていただいております。ただし、営利を目的とするものではありませんので、As is、Best effort型のサービスとさせていただきます。
-学内の方の使用に関しましては、県費の移動で対応させていただきます（年度後半に一括してお願いします）
-学外の方の使用にあたっては、アフォードセンス株式会社（http://www.affordsens.com/）が伝票の処理を行います。使用の都度の請求となります。また、下記課金の20%の手数料＋消費税が必要となります。書類につきましては担当者より別途ご連絡が入りますのでよろしくお願いします。
***　標準装置単体使用 [#k3ddcccf]
-　装置リストに挙げられておりますB、Cカテゴリの装置単体の利用は半日で￥5,000です。
-　標準レジストや洗浄用薬品、標準ガス、超純水、液体窒素、ドラフト、スピンナ、SEM観察用コータ、クロスセクションポリッシャ等、その装置を使うにあたっての標準的な周辺消耗品・機器は大量の使用でなければご使用いただいて結構です。
***　標準装置複数使用 [#w07a8eb1]
-　装置リストに挙げられている装置を複数同時に使う場合は半日￥10,000です。
-　例えば、アライナでリソ、引き続きドライエッチング、ダイシングなど、あるいはダイシングに引き続きボンディング、SEM観察などの利用になります。ここでも標準消耗品や標準周辺機器のご利用がが可能です。
***　特別装置使用 [#t7a3a476]
-　クラスA装置を含む利用の場合、半日￥15,000となります。
-　クラスA装置はシリコンDeepRIE装置、PZTスパッタ、電子ビーム露光装置の3台が対象です。この利用形態では、他のすべての装置や標準消耗品を同時に使用していただいて結構です。
*　ご注意 [#ua2b0c03]
-　標準的な消耗品は在庫品を利用していただいて結構ですが、白金や電子ビーム露光用レジスト、クロムマスクブランクスなど高価な材料を使用する場合、あるいは標準的な消耗品でも大量の使用が想定される場合にはあらかじめご準備いただくか、在庫品使用後に供給をお願いします。不明な場合にはあらかじめご相談（[[お問い合わせフォーム]]）下さい。
-　上記課金は今後変更の可能性がありますのでご注意下さい。
***　利用料金の算定について [#h9b2d791]
- 装置リストのカテゴリごとに規定の料金がかかります。
-- カテゴリS：30,000円，A：20,000円，B・C：10,000円（半日あたり。営利企業使用料金）
-- 非営利組織の場合には使用料は半額（必要な場合の手数料・税を除く）
- 同時に複数装置を使用される場合には，1つの最上位カテゴリ装置利用料に加えて，他の装置使用料は半額となります。
-- 例）カテゴリS2つ同時に半日使用=>30,000+(30,000/2)=15,000円
-- 例）カテゴリS，A，Cを同時に1日使用=>2*(30,000+(20,000+10,000)/2))=90,000円
- ドラフタや顕微鏡，段差計などの付随的な装置使用については，予約不要・課金対象外ですが，単体でのご利用や占有が必要な場合にはこれらをBカテゴリとして課金します。※占有しない場合には他者と共同利用することを許容すること。
- オペトレを必要とする場合，時間当たり6,000円とします。
- 標準的な消耗品は在庫品を利用していただいて結構ですが、白金や電子ビーム露光用レジスト、クロムマスクブランクスなど高価な材料を使用する場合、あるいは標準的な消耗品でも大量の使用が想定される場合にはあらかじめご準備いただくか、在庫品使用後に供給をお願いします。不明な場合にはあらかじめご相談（[[お問い合わせフォーム]]）下さい。
- 依頼加工についても承ります。別途ご相談（[[お問い合わせフォーム]]）ください。
- PZT薄膜を成膜した4インチウエハをサンプル供給します（膜厚3umまでは1枚10万円）。厚さは10umまで可能です。気軽にご相談（[[お問い合わせフォーム]]）ください。
- 永久磁石（NdFeB）薄膜を成膜したウエハについてもサンプル供給します（1枚10万円）。
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