課金について

  • センター使用にあたり、運営費用の一部をご負担いただくためシンプルな形態で課金させていただいております。ただし、営利を目的とするものではありませんので、As is、Best effort型のサービスとさせていただきます。
  • 学内の方の使用に関しましては、県費の移動で対応させていただきます（年度後半に一括してお願いします）
  • 学外の方の使用にあたっては、アフォードセンス株式会社（http://www.affordsens.com/）が伝票の処理を行います。使用の都度の請求となります。また、下記課金の1割の手数料が必要となります。書類につきましては担当者より別途ご連絡が入りますのでよろしくお願いします。
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　標準装置単体使用

  • 　装置リストに挙げられておりますB、Cカテゴリの装置単体の利用は半日で\5,000です。
  • 　標準レジストや洗浄用薬品、標準ガス、超純水、液体窒素、ドラフト、スピンナ、SEM観察用コータ、クロスセクションポリッシャ等、その装置を使うにあたっての標準的な周辺消耗品・機器は大量の使用でなければご使用いただいて結構です。
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　標準装置複数使用

  • 　装置リストに挙げられている装置を複数同時に使う場合は半日\10,000です。
  • 　例えば、アライナでリソ、引き続きドライエッチング、ダイシングなど、あるいはダイシングに引き続きボンディング、SEM観察などの利用になります。ここでも標準消耗品や標準周辺機器のご利用がが可能です。
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　特別装置使用

  • 　クラスA装置を含む利用の場合、半日\1,5000となります。
  • 　クラスA装置はシリコンDeepRIE装置、PZTスパッタ、電子ビーム露光装置の3台が対象です。この利用形態では、他のすべての装置や標準消耗品を同時に使用していただいて結構です。
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　ご注意

  • 　標準的な消耗品は在庫品を利用していただいて結構ですが、白金や電子ビーム露光用レジスト、クロムマスクブランクスなど高価な材料を使用する場合、標準的な消耗品でも大量の使用が想定される場合にはあらかじめご準備いただくか、在庫品使用後に供給をお願いします。不明な場合にはあらかじめご相談（お問い合わせフォーム）下さい。
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